拓荆科技(上海)有限公司成立于2020年12月,是拓荆科技股份有限公司在临港设立的全资子公司,主要从事高端集成电路薄膜装备的研发、生产与销售。公司聚焦ALD、PECVD、SACVD、HDPCVD等高端薄膜装备,持续推进研发创新和产业链建设。
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