上海微电子装备(集团)股份有限公司成立于2002年,定位“赋有国家使命的市场化公司”,是国内唯一具备多领域、多品种光刻机研发和产业化的公司,目前主要致力于IC前道光刻机及相关零部件的开发、设计、制造、销售和技术服务。
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